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日本orc半導(dǎo)體光刻機 PPS-8200p1/8300p1 東洋研磨材TOYO 打磨機緊湊的通用機 用途:支持各種應(yīng)用 特長 -寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換) -搭載可變NA功能 (可變?yōu)?.16和0.1) -最多8Field的拼接設(shè)計格式 -光學(xué)系統(tǒng)不受感光材揮發(fā)氣體和周圍環(huán)境中化學(xué)物質(zhì)影響
更新時間:2025-02-22