日本napson晶圓平面度測量系統

產品型號：FLA-200
更新時間：2024-07-12

簡要描述：日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200
支持厚度測量、PN判斷、溫度測量（硅晶圓）
自檢功能，測量范圍廣
厚度/周邊位置/溫度校正功能（電阻率（resistivity）測量）
可根據要求容納任意數量的包埋盒。
*可選：通訊軟件，兼容SMIF或FOUP

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產品詳情

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200

日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200的介紹

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業(yè)務。聯合國際名品牌搭建工業(yè)品供應鏈，采用與 MRO分銷商結盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心，以流的專業(yè)國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業(yè)產品和優(yōu)質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

非接觸式平面度和厚度測量系統。測量晶圓樣品的平整度（TTV、BOW、WARP）和厚度。
?支持厚度、TTV、BOW、翹曲、場地平面度和整體平面度的測量（符合 ASTM）
?2D、3D映射顯示軟件
?數據可以輸出為CSV文件
?5mmφ芯電容探頭高精度測量
?12,000點/60秒以內的高速測量
測量對象
?半導體及太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
?硅外延、離子注入樣品
?化合物半導體（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
測量尺寸
3 到 8 英寸
測量范圍
厚度：200 –1200μm
彎曲度：+/-350μm
經度：350μm

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日本napson晶圓平面度測量系統

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