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日本napson晶圓平面度測量系統

  • 產品型號:FLA-200
  • 更新時間:2024-07-12

簡要描述:日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200
支持厚度測量、PN判斷、溫度測量(硅晶圓)
自檢功能,測量范圍廣
厚度/周邊位置/溫度校正功能(電阻率(resistivity)測量)
可根據要求容納任意數量的包埋盒。
*可選:通訊軟件,兼容SMIF或FOUP

產品詳情
品牌其他品牌產地類別國產
應用領域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200

日本napson晶圓平面度測量系統FLA-200的介紹

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年,坐落于年輕奮進的深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業(yè)務。聯合國際名品牌搭建工業(yè)品供應鏈,采用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心,以流的專業(yè)國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業(yè)產品和優(yōu)質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

  • 非接觸式平面度和厚度測量系統。測量晶圓樣品的平整度(TTV、BOW、WARP)和厚度。

  • ?支持厚度、TTV、BOW、翹曲、場地平面度和整體平面度的測量(符合 ASTM)

  • ?2D、3D映射顯示軟件

  • ?數據可以輸出為CSV文件

  • ?5mmφ芯電容探頭高精度測量

  • ?12,000點/60秒以內的高速測量

  • 測量對象

  • ?半導體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
    ?硅外延、離子注入樣品
    ?化合物半導體(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)

  • 測量尺寸

  • 3 到 8 英寸

  • 測量范圍

  • 厚度:200 –1200μm
    彎曲度:+/-350μm
    經度:350μm














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